Бестугин А. Р., Филонов О. М., Киршина И. А., Осколков Б. В. ПРИМЕНЕНИЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ДЛЯ ПАРАМЕТРИЧЕСКОЙ КОРРЕКЦИИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ. RS Global - World Science [Internet]. 2016Apr.30 [cited 2025Aug.5];1(4(8):35-9. Available from: https://rsglobal.pl/index.php/ws/article/view/1115