Бестугин А. Р., Филонов О. М., Киршина И. А., and Осколков Б. В. “ПРИМЕНЕНИЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ДЛЯ ПАРАМЕТРИЧЕСКОЙ КОРРЕКЦИИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ”. World Science 1, no. 4(8) (April 30, 2016): 35-39. Accessed February 5, 2025. https://rsglobal.pl/index.php/ws/article/view/1115.