Бестугин А. Р., Филонов О. М., Киршина И. А., and Осколков Б. В. “ПРИМЕНЕНИЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ДЛЯ ПАРАМЕТРИЧЕСКОЙ КОРРЕКЦИИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ”. World Science, Vol. 1, no. 4(8), Apr. 2016, pp. 35-39, https://rsglobal.pl/index.php/ws/article/view/1115.