Бестугин А. Р., Филонов О. М., Киршина И. А., and Осколков Б. В., “ПРИМЕНЕНИЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ДЛЯ ПАРАМЕТРИЧЕСКОЙ КОРРЕКЦИИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ”, RS Global - World Science, vol. 1, no. 4(8), pp. 35-39, Apr. 2016.