Бестугин А. Р., Филонов О. М., Киршина И. А. and Осколков Б. В. (2016) “ПРИМЕНЕНИЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ДЛЯ ПАРАМЕТРИЧЕСКОЙ КОРРЕКЦИИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ”, World Science, 1(4(8), pp. 35-39. Available at: https://rsglobal.pl/index.php/ws/article/view/1115 (Accessed: 5February2025).