Бестугин А. Р., Филонов О. М., Киршина И. А., and Осколков Б. В. 2016. “ПРИМЕНЕНИЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ДЛЯ ПАРАМЕТРИЧЕСКОЙ КОРРЕКЦИИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ”. World Science 1 (4(8), 35-39. https://rsglobal.pl/index.php/ws/article/view/1115.