БЕСТУГИН А. Р.; ФИЛОНОВ О. М.; КИРШИНА И. А.; ОСКОЛКОВ Б. В. ПРИМЕНЕНИЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ДЛЯ ПАРАМЕТРИЧЕСКОЙ КОРРЕКЦИИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ. World Science, v. 1, n. 4(8), p. 35-39, 30 Apr. 2016.