Бестугин А. Р., Филонов О. М., Киршина И. А., & Осколков Б. В. (2016). ПРИМЕНЕНИЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ДЛЯ ПАРАМЕТРИЧЕСКОЙ КОРРЕКЦИИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ. World Science, 1(4(8), 35-39. Retrieved from https://rsglobal.pl/index.php/ws/article/view/1115