Бестугин А. Р., Филонов О. М., Киршина И. А. and Осколков Б. В. 2016. ПРИМЕНЕНИЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ДЛЯ ПАРАМЕТРИЧЕСКОЙ КОРРЕКЦИИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ. World Science. 1, 4(8) (Apr. 2016), 35-39.